任何真空系統(tǒng)都希望盡量縮短抽氣的時間，這關(guān)系到提高效率和降低能耗，但并不是所有的真空應(yīng)用都具有縮短抽氣時間的條件�？梢园巡煌恼婵諔�(yīng)用分為兩大類：一類是不改慮系統(tǒng)內(nèi)的放氣量，而只有真空度的要求；另一類是要求真空室內(nèi)充分的放氣，即放氣率要降到某一臨界值。這兩類不同的應(yīng)用對泵配置的要求是不一樣的。對于前一類應(yīng)用，如真空度要求在0.5pa以上，只要時間常數(shù)足夠的小，便可晝量縮短抽氣的時間。但如真空度要求在0.5Pa以下，就必須改慮放氣對壓力變化的影響。放氣量隨時間的變化緩慢。特別是在無烘烤的情況下。要在預(yù)定較短的時間內(nèi)達到較高的真空度，就必須以較大的抽速抽除較大的放氣量。也就是說如放氣量為Q，泵的有效抽速為S0，則可達到平衡壓力P=Q/S0。如平衡壓力確定，則達到的時間越短，要求泵的有效抽速就越大。蒸發(fā)鍍膜就是典型的這類的應(yīng)用，由于蒸鍍的速度快，時間短，所以不考慮放氣量的影響（即活性氣體的影響）。但蒸發(fā)粒子的能量低，要求絕大部分粒子無碰撞地沉積到工件上，以保證結(jié)合力及減少散射，這就要求真空室內(nèi)的平均自由程不小于蒸發(fā)源到工件的距離，與此相應(yīng)的壓力約在1×10-2Pa，這便是蒸發(fā)鍍膜對真空度的要求。
如何在盡量短的時間內(nèi)達到這一壓力，就對泵的有效抽速提出了要求，原則是時間越短，由于放氣量越大，有效抽速就要求越大。所以蒸發(fā)鍍膜一般配置抽速強大的油擴散泵機組，功率有數(shù)十千瓦，幾分鐘至十幾分鐘內(nèi)便可達到工作真空度，但該系統(tǒng)對工件造成的油蒸汽污染是難以避免的，特別是塑料金屬化膜層易發(fā)黃。目前渦輪分子泵抽速滿足不了大型蒸發(fā)鍍的需要。而大抽速的低溫泵又是工業(yè)化規(guī)模鍍膜所承受不了的。根據(jù)被抽空間氣體負(fù)載的特性，利用分子增壓泵抽除永久性氣體，結(jié)合低溫冷凝水捕集泵抽除水蒸汽，有望實現(xiàn)大抽速獲得清潔真空的全新抽氣工藝。真空室內(nèi)壓力在0.5Pa以上時，主要氣體成份是永久性氣體，而0.5Pa以下的主要氣體成份是水蒸汽（90%）。由于分子增壓泵具有超強的中真空抽氣能力，從100Pa到0.5Pa抽氣時間極短，而在0.1Pa以后啟用低溫冷凝水捕集泵，可在較短時間內(nèi)使室內(nèi)壓力降低1個數(shù)量級，達到1×10-2Pa。對于3-5m3的大型蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，配置3-4臺1000升/秒的分子增壓泵和一臺功率5kw的低溫冷凝水捕集泵便能實現(xiàn)上述的抽氣工藝，這無疑具有開創(chuàng)性。對于后一類應(yīng)用，由于放氣量變化依賴于溫度和時間，而與氣相空間的壓力關(guān)系不大，只要壓力低于現(xiàn)存吸附量所對應(yīng)的平衡壓力即可，一般在抽氣過程中均滿足此條件。因此，用強勁的抽速即使在很短的時間內(nèi)把空間壓力降至很低，依然不能明顯減少真空室內(nèi)的放氣量，而必須配置合適的抽速，在合理的烘烤溫度下，在合理的時間內(nèi)使放氣量達到工藝要求的水準(zhǔn)，這一般要歷經(jīng)數(shù)十分鐘的時間。這類應(yīng)用較為典型的有鈦金行業(yè)的濺射鍍膜和離子鍍膜,稀土永磁材料熔煉等。其中，過量的活性氣體會影響膜層的品質(zhì)和材料的質(zhì)量，因此工藝中均有一段較長時間的精抽過程。
對于鍍膜室為1m3左右的濺射或離子鍍膜設(shè)備，一般配置4000升/秒抽速的真空機組，為了促使真空室和工件更快地放氣，往往烘烤到300℃的溫度。值得強調(diào)的是，在鈦金鍍膜中，泵的抽速大小，泵的特性、抽氣工藝及所需的沉積壓力之間表現(xiàn)出的辯正關(guān)系。在一個鍍膜周期中，真空機組的抽氣可以分為三個階段，即精抽階段，輝光轟擊和濺射沉積階段。精抽的目的是為了減少真空室內(nèi)的放氣量,其結(jié)果主要決定于烘烤溫度和抽氣時間,與空間壓力關(guān)系不大,特別是壓力在同數(shù)量級內(nèi)。因此，主泵的抽速在適當(dāng)?shù)牟町悆?nèi)，精抽的效果是一樣的，真空室內(nèi)的放氣率都可降低到相同的水平，盡管所對應(yīng)的極限真空不同。具體地講1000升/秒分子增壓泵和1500升/秒的渦輪分子泵在這一階段抽氣的效果是相同的。輝光轟擊階段，由于此時放電壓力在2Pa左右，一般來講主泵的抽氣能力受到影響，傳統(tǒng)地均采用節(jié)流的方法以犧牲抽速來換取泵的穩(wěn)定工作，擴散泵和渦輪分子泵都是如此，尤其是擴散泵抽速損失更大，相應(yīng)地放電的氬氣流量也明顯減少。然而這一階段只有大的有效抽速，大的氬氣流量才能獲得更好的轟擊清洗的效果。在這一點上分子增壓泵是有明顯的優(yōu)勢。在最后的濺射沉積階段典型的工作壓力為0.5Pa，擴散泵和渦輪分子泵仍需節(jié)流，且不說在該種情況下，沉積的壓力難于穩(wěn)定，減小的抽氣速率勢必要讓精抽過程中所達到的活性氣體（放氣）的分壓明顯地回升。在放氣量一定的情況下，活性氣體的分壓高低決定了對沉積膜層質(zhì)量的影響。能以滿抽速穩(wěn)定抽氣的分子增壓泵，在此又一次顯示了它的優(yōu)越性。
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