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ASM181T氦質譜檢漏儀常見故障解決
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ASM181T氦質譜檢漏儀常見故障解決
1、電泵故障及解決
（1）電泵不舉動。審查名目有：電源電壓是否畸形，電門是否翻開，繞組是否斷路或接地，電機是否過熱（泵結冰后是否能啟動）。
（2）電泵音調異樣。審查油位是否適合，油質是否變壞，油溫是否＜10℃，油霧過濾器的入口有無氣體排出（那末無氣體排出，更替油霧過濾器）。2、分子泵故障及解決
（1）開機2min后壓力批示燈不亮。此時候子泵未轉動，即分子泵出口壓力未到設定值或未檢測到壓力（通常壓力應＜10-3MPa，壓力過高分子泵將無奈啟動）。因而，重要審查招致壓力過高的成分。審查的名目有：PI1真空規(guī)管是否有問題，分子泵入口是否翻開，電泵油是否太臟或電泵是否轉動，零碎是否有透露。
（2）分子泵減速批示燈不亮。CD2通路板上的保險絲燒斷，更替保險絲或審查是否有短路景象。
（3）分子泵故障燈亮。審查CD2通路板設置電門是否在于R地位，此時無須在N地位。審查風扇是否停留，那末風扇畸形，請和廠家聯(lián)絡。3、質譜室故障
（1）真絲批示燈不亮。審查真絲開要害是否在于開放地位（再按一下），審查I/O短接插銷是否儀器前面的接口。
（2）真絲批示燈閃耀。用萬用表審查質譜室飛行插座1和5接報柱是否開路，若開路，更替真絲；若不開路，審查接報柱6是否和其余接頭導通，肅清短路景象.
（3）遙控面板無壓力批示。審查PI3規(guī)管是否有問題。
（4）當檢漏結束時壓力不上升。審查通路板PO318保險絲是否有問題.
（5）檢漏口壓力＞0.01MPa。電泵油生效或PI3規(guī)管壞.4、檢測結束時涌現(xiàn)的故障
（1）檢漏鍵有效（綠色批示燈亮）：審查真絲是否啟動。那末真絲沒有啟動或者真絲斷，按檢漏鍵將沒有反響。
（2）檢漏鍵有效（批示燈不亮）。I/O短接插銷未拔出儀器前面插座。那末I/O短接插銷未拔出儀器前面插座，那時檢漏儀將承受I/O口輸出信號，而不承受遙控器信號，檢漏鍵有效。5、主動校準終了時涌現(xiàn)的故障
主動校準挫�。ㄕ娼z亮）白色校準燈亮。率先審查主動校準設置，電門S1是否在于OFF地位，所設置的漏率值和規(guī)范漏孔值是否統(tǒng)一。熱度傳感器是否接上；其次是審查銳敏度（那末用內部校準漏孔審查預示值和理論值統(tǒng)一，儀器也可運用），蕩滌質譜室。6、檢漏時涌現(xiàn)的故障
（1）不向細檢形式轉換，無油立式真空泵檢漏口壓力＜2×10-4MPa：審查粗檢批示燈是否亮，那末亮，注明檢漏儀置于粗檢形式。再按一下粗檢電門切換到主動轉換狀態(tài)。
（2）銳敏度低。審查三極規(guī)所測壓力，待到質譜室壓力＜10-6MPa時再檢漏；那末壓力達成，審查離子源是否被凈化，蕩滌離子源。
（3）氦本底太高。審查電泵油是否生效（泵油長期運用變質會吸附較多的氦氣，招致氦凈化），審查儀器零碎是否有漏，真空管路是否凈化，審查三極規(guī)上壓力是否達成10-6MPa，離子源是否凈化。另外還要留神條件的凈化問題，那末小組內有多臺檢漏儀，且氦氣的運用量較大時，小組透風不好時；或者小組透風良好，但干凈廠房多采納上送風形式，氣旋位置是自上而下，因為氦氣分子量較小，向上放散，以致氦氣放散慢，也會招致氦凈化�？朔椒ㄊ窃跈z漏口的放氣缸放氣口（通常通大氣）處，裝置一個多少升定量的氣瓶，該氣瓶與工業(yè)氣壓氦上呼吸道路聯(lián)接。那樣，就大大縮小了條件的氦凈化。
（4）通常小組檢漏生產之前，會拿樣件試檢漏（此樣件通常是生產內中中產生的成品，漏率瀕臨設定漏率），會發(fā)現(xiàn)漏的樣件不漏的景象。這是所以漏的樣件自身漏率較小，通過屢次檢漏后，微孔被污垢阻塞而不漏了。正常不要徹底置信漏件，漏件屢次運用后就不要運用了。
（5）工裝設計不正當招致檢漏通不過。初檢時作業(yè)畸形，作業(yè)多少次后，抽速大大減慢，檢漏不過；加死堵檢漏儀不漏，作業(yè)畸形。這是所以工裝設計不正當所致，比方工裝構造不正當，內名義太毛糙，招致過多的氦氣殘留；或者密封設計不正當招致密封不牢靠（因為工裝設計人員對業(yè)余真空設計不相熟）。
（6）操作不正當招致故障。如作業(yè)中，有一個大漏的作件，因為操作人員斷定謬誤，不覺得作件漏，而去審查工裝的聯(lián)接或者檢漏儀，屢次對這一作件檢漏。那樣就會發(fā)現(xiàn)，所有作件都不過。起因是大漏的作件經(jīng)屢次檢漏后，有一大批的氦氣進入質譜室，造成質譜室凈化�？朔姆椒ㄊ�，理清質譜室，重復吸氣排氣。
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